PZ10-HS-DS质量流量计/控制器

产品简介：

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环境保护和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺 设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

工作原理：

PZ10-HS/DS 系列气体质量流量控制器较好的精度、坚固性及可靠性源于我公司特别的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的降温效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。