流量仪表

PZ10-HS-DS质量流量计/控制器

2021/11/25 15:28:55

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺 设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。...


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1、PZ10-HS-DS质量流量计产品展示:


PZ10-DS质量流量计.jpg
PZ10-DS质量流量计
 

产品简介:

质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精 密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环境保护和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺 设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。

 


工作原理:

PZ10-HS/DS 系列气体质量流量控制器较好的精度、坚固性及可靠性源于我公司特别的 传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度 及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的降温效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的 原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金 RTD 丝缠绕在坚固 的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在 316 不锈钢包装壳内。


 
主要技术指标:

1

量程范围

(0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM

2

准 确 度

±0.5%F.S/±1.0%F.S

3

线    

±0.5%F.S

4

重复精度

±0.2%F.S

5

响应时间

电特性:1sec 气特性:(1~4)sec

6

工作压差

0.02~1.0Mpa

7

    

3Mpa,10Mpa

8

工作环境温度

0~50℃

9

数 字 量

RS485/232 MODBUS 协议

10

模 拟 量

DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可选

11

    

DC ±15V/24V 可选,电源功率≥20W

12

电气连接

DB15 

13

    

1×10-9SCCSHe

14

底座材质

316L 不锈钢

15

密封材质

氟橡胶,聚四氟乙烯,丁晴橡胶

16

气路接头

3/4〞,Φ20,Φ25,法兰连接




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