质量流量控制器的密封介绍

2021-10-13 17:19:15
本文关键字：质量流量控制器

　　质量流量控制器用于对于液体或者气体的质量流量进行准确测量和控制。广泛用于真空镀膜，毛细管测量气象色谱仪，光纤熔炼，光导纤维制造，混气配气系统，微反应装置等设备中。以及冶金，石油化工，制药等行业。

　　质量流量控制器的测量原理：通过测量气体流经流量计内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。质量流量控制器具有扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入中等功能，具有精度高，重复性好等特点，可以广泛用于冶金，制药，石油化工等。

　　质量流量控制器的电磁阀是调治阀，不是截止阀，不能当截止阀用，用户应另配截止阀。特别是用户如果使用的是腐化性气体，通常应该在进出气口各加装一个截止阀，以包管宁静。