质量流量控制器可重复性测量和控制质量流量

2022-07-06 12:14:54
本文关键字：质量流量控制器

质量流量控制器具有较为优的性能，可以实现较快、高精度和长期稳定的流量控制。其可以使用在不同的流体连接件和电气接口，可测量50 sccm到200 slm的流量。同时仪表以高精度、长期稳定性和可重复性测量和控制质量流量，可覆盖宽动态测量范围。

质量流量控制器外壳由金属制成，可进行配置。其采用CMOS硅芯片，在这个芯片上集成了模拟和数字处理电路及高精度传感器元件，由此具有较高的性能，同时传感器信号可在芯片上直接转换成经温度补偿和100%校准的数字信号，然后进行传输。同时多气体校准可存储在单个器件上。仪表还具有通用性，使其可以在医疗和工业中使用，还能为其提供合适的解决方案。